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日本メーカーがiCADAのレチクル管理ソリューションを初採用

ドイツに本社を置くソフトウェア開発メーカーiCADAは、 新設された日本の主要300mm メモリー工場からレチクル管理システム(RSM)を受注しました。

RSMは日本語に翻訳され、ローカルMESインフラストラクチャに統合される予定です。 これによりレチクルおよびキャリアのライフサイクル管理、レチクルの検査管理、検査ツールとの連携、 マスクハウスとの連携の強化が見込まれます。さらに、再確認戦略、タスクプランニング、 レチクル環境のモニタリングなどを含むカスタマイズ可能な各種ビジネス規則エンジンにより、エラーの削減、 製品サイクルの短縮、不良品の減少、コスト削減をもたらします。

受賞作「iCADAレチクル管理ソリューション」は、ウェハ製造におけるレチクルの全ライフサイクルを管理する ソフトウェアパッケージです。Javaベースでかつツールに依存しないソリューションで、マスクハウスとの連絡、 早期検査、不良品のバックトラッキング、ジャストインタイム納品、ストッカーの自動化などの機能を提供します。 1999年以来、iCADAのレチクル管理ソリューションは世界中の主要工場で製造の改善に貢献し、 レチクル管理ソリューションのスタンダードとなってきました。

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