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幕張メッセにて開催（12月6〜8日）
日本における弊社のパートナー 丸紅ソリューション株式会社のブースにお立ち寄り下さい。
弊社の受賞作「Reticle Management Software (RSM)」をご紹介いたします。弊社製品は、マスクの発注、CofC検証、受入れ審査、レチクル保管 （レチクルストッカーの自動化を含む）、レチクル検査、移動の追跡、ステータス変更、ウェーバー（権利放棄）、 修理後の再審査、不合格時の処理、修理など、レチクルおよびキャリアの全ライフサイクルを網羅するサービスを提供します。
弊社の Advanced Inspection Managament は、極めて柔軟なカウンターおよびタイミング機構に基づいてレチクル検査のトリガー/モニタリング機能を提供します。 サイクル構成をレチクル単位またはレチクルグループ単位で動的に行うことにより、 露光回数をカウントして結晶の成長およびヘイズの監視を行う場合に、レチクルのクリーニング/修復を反映して 検査サイクルを減らすことができます。すべてのレチクル検査結果 （KLA Starlight/TeraScan、ASML IRIS、CANON PPC、NIKON PPD、Dr. Schenk Polluxなど）の検査ダウンロード および解析を自動化することにより、人為的エラーを排除し、企業規則を厳格に反映させることが可能になります。
弊社のMask Vendor Connectivity （MaVen）は、レチクル発注処理の全体を網羅する監視サービスを提供します。 これにはマスクハウスから受け取るステータス情報ならびにETA（到着予定時刻）の自動更新、データ準備情報、 レチクル発注ファイル（例: SEMI P10）、CofCファイルなどの自動読込みおよび妥当性/有効化チェックなどが含まれます。 技術者グループを設定し、検証結果やその他のビジネス規則に基づいて自動的に電子メールを送信できます。 レチクルの製造/出荷前に修正を行うことにより、劇的なコスト/時間削減につながります。弊社ソフトウェアのオープンインターフェイスは、任意のMESおよびMCSシステム、フォトディスパッチアプリケーション、 スケジューラーアプリケーションとシームレスな統合を提供します。iCADAのソフトウェアは1999年以降、 世界中の数多くの最先端製造施設で稼働しています。
レチクルおよびレチクルキャリア管理における材料管理機能（MMX）、 レチクル検査管理など、弊社の開発に関する最新の話題をお届けいたします。
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