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製品紹介
レチクル管理ソリューション:
iCADAの最先端レチクル管理ソリューションは、ウェハプロセスにおけるレチクルの全ライフサイクルを一元管理し、 レチクルに関する様々な問題を解決します。 iCADA社が1999年に製造を開始したRSMは、今日、レチクル管理の業界標準となっています。
- Reticle Management System (RSM)
- Reticle Inspection Manager (RIM)
- RSM / WEB
- GO / NO-GO Box
- Mask Vendor Connectivity (MaVen)
- EnviroTracker™ (ESD tracking)
弊社製品にご満足を頂いた顧客の皆様の推薦により、 Best Product Award 2002 を受賞しました。
