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製品紹介 » Enviro Tracker
半導体プロセス用モバイルESDレコーダ
EnviroTracker™は、レチクルの全工程を通じて、工場内のあらゆる場所をレチクルと共に移動し、 ESDに関するデータを収集します。収集されたデータには、RFIDリンク経由でいつでもアクセス可能で、 レチクルのESDステータスを把握できます。レチクルがESDを被った場合、障害の原因になる前に検査に回すことができます。 収集されたデータを用いて、ESDを被った場所を特定し、ESDが発生した環境の問題点を是正し、 歩留まりの改善につなげることができます。
主な特徴
- 小型軽量
EnviroTracker™ はポータブルタイプで、ほとんどのレチクルキャリア、SMIFポッド、FOUPに装着可能です。 さらに、ご要望に応じてカスタマイズも承ります。 - 広汎なデータを収集
レチクル用EnviroTracker™ は、静電電圧およびESD（実際の放電）に関するデータを収集します。 各イベントは発生時刻と共に記録されます。こうした情報を元に、ESDを被った場所を正確に突き止め、 閉ループ内で修正処理を行うことができます。 - 簡単な操作によるデータ回収
EnviroTracker™ はRFIDインターフェイス経由でデータ通信を行い、 処理を中断することなく非接触でデータを回収できます。 - 調節可能なパラメータ
レチクルや、その他の製品の特性に応じてEnviroTracker™ を設定し、様々なレベルのESDに対応させることができます。 設定はRFIDリンク経由でソフトウェア的に行います。
適用対象
- フロントエンド半導体
- フォトリソグラフィー装置
- SMIFポッド
- FOUP
- レチクルキャリア
- 電子部品アセンブリ
- ESDが重要な意味を持つあらゆる環境
各種機能
- 小型軽量
- 広汎なパラメータを利用可能
- 非接触RFIDインターフェイス
- タイムスタンプ付きのデータ収集
- 工場内全域をカバーするソフトウェアを活用し、
プロセスへ統合
EnviroTrackerは、弊社のパートナー企業Credence Technologies, Inc.の登録商標です。
Credence Technologies, Inc.詳細については弊社までご連絡ください。
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