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製品紹介 » GO / NO-GO Box
主な特徴
製造ミスや修正処理を低減。
多くの工場では、露光に使用するレチクルを品質検査し、使用を決定する際、 ごみ検査時の検査結果によるパーティクルの最大サイズを「採用/不採用（go/no-go）」の基準に用いるのが一般的です。 これは、「一定サイズ未満のパーティクルはプリントされない」という危険な仮定に基づいています。
主な機能
iCADAの「GO/NO-GO BOX」は、検査結果からより多くの成果を引き出すことができます。 ペリクルの傷や破れなどのパターンを識別し、詳細なアナリシスを実行します。 一般的な検査システムでは、こうしたパターンは個別欠陥の複数発生として報告されますが、実際にこれらが及ぼす影響は深刻です。
顧客の設定に従ってGO/NO-GO BOXのアラームが発生すると、ツールが自動的に停止し、製品の損失を未然に防止します。
GO/NO-GO BOXでは、iCADAレチクル管理システム（RSM: Reticle Management System）との連携により、
解析の際にレチクルの検査履歴を考慮したり、検出された新たな欠陥を追加したりすることができます。
さらに、個々のレチクルをセットとして包括し結果としてその特性に起因する潜在的な欠陥を検出できます。
また、レチクルに使用される露光波長およびCDを検索し、致命的な欠陥（killer defect）をマスクのプロパティに基づいて特定できます。
注: 高規格のマスクは、ウェハも高付加価値になるため、欠陥は致命的になります。
新しい検査結果は自動的にRSMにアップロードされ、レポートおよび品質管理に用いることができます。
ケーススタディー：
ある顧客のケースでは、METAL2の露光が、レチクルのペリクルが破損した状態で行われたため、 9個のデバイス中7個で不具合が発見されました。問題の発見が遅れたため（エッチング終了後に発覚） 6インチのロット2個（24ウェハ×2）を廃棄せざるを得ませんでした。ウェハの価格を1枚2,000ドルと仮定すると （これは極めて控えめな仮定です）、たった1枚のペリクルの破損が原因となり96,000ドルの製品損失が生じたことになります。
詳細については弊社までご連絡ください。
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