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製品紹介 » Mask Vendor Connectivity (MaVen)
マスクのオンライン発注、修理、洗浄 etc.
RSM-マスクハウスインターフェイスは、マスクサプライヤとの間にSEMI規格P10を用いたデータ交換サービスを提供します。 レチクルの注文ファイルがマスクハウスに送信されると、そのレチクルのレコードがRSMデータベース内に自動的に作成されます。 マスクハウスにおける製造状況（製造状況、予定納期 ETA: estimated time of arrivalなど）をRSMでモニタリングできます。 レチクルが納品されると、電子適合認証（CofC: Certificate of Conformance）が自動的に有効になり、 オリジナルの発注ファイルとの検証が行われます。次に、RSMは担当者の承認を得て、新しいレチクルを工場の製造ラインに投入します。
オペレータの関与を減らすことにより、人為的エラーを減らし、予測性を向上させ、 さらには製品の立ち上げ加速につなげることができます。
各種機能：
- レチクルサプライヤとのデータの自動送受信。
- SEMI P10規格およびマスクベンダー指定の形式をサポート。
- 該当するすべてのデータにグラフィカルユーザーインタフェース（GUI）を提供。
- レチクルの製造および出荷状況のモニタリング。
- レチクルおよびデータの受領確認。
- 適合認証（CofC）の有効化。
- レチクルに関するデータ（クリティカル寸法（CD）、登録データ、フェーズおよび転送の詳細データなど）のデータインポート。
- レチクル、検査ツールなどのサンプル画像。
マスクベンダーの追跡機能
各マスクベンダーに対し、マスクサプライヤとしてのスコアカードを割り当てます。- サイクルタイムのデータ、納期への対応能力
- 修正処理のレポートおよびスコア
- 初回パスの歩留まり、返品率、監査スコアなど
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