レチクル管理システム（Reticle Management System）はレチクル、キャリア、ストッカー、
ラックを管理し、これらへの素早いアクセスや、情報追跡機能を提供します。
管理できるレチクル数に制限はありません。
弊社製品にご満足を頂いた顧客の皆様の推薦により、Best Product Award 2002を受賞しました。
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主な特徴
- レチクルの取り扱いエラーを防止し、製造ミスを低減。
RSMはすべてのレチクルの正確な所在を常に把握し、製造ミスを一掃します。
さらに、CIMシステムによるレチクルの自動回収、事前選択により、人為的エラーが回避されます。
- レチクルの破損や汚れに起因する製造ミスを低減。
RSMは、ユーザー自身の管理仕様に基づいて、各レチクルのクリーニングおよび検査のサイクルを管理します。
レチクル検査の自動要求機能、および汚染されたレチクルのリモート通知機能により、
検査済みのクリーンなレチクルだけがウェハ製造工程に用いられるようにし、歩留まりを向上させます。
- 装置の効率を最大限に活用
レチクル検索に伴う遅延を排除することにより、RSMはステッパーの待機時間を短縮します。
自動保存機能および自動回収機能により、レチクルのジャストインタイム供給を実現します。
RSMは、ストッカーのアイドルタイムを活用してレチクルの自動検査を行います。
自動検査のトリガー条件は、ユーザーが規則を設定できます。
主な機能
- レチクルのライフサイクル全体を通じて、
レチクルのステータス、移動、使用状況、検査、および修理の履歴を追跡します。
- レチクルの保管場所をローカルまたはリモートから検索し、回収することが可能です。
検索フィルタ（レチクルID、バーコード、ステータス、保管場所など）には、ワイルドカードを用いることができます。
- レチクルのグループ化（例：マスクセット別グループ）。
- SECS適合のあらゆるストッカーおよびラックの組み合わせをサポートします。
- ご使用中のCIMシステムへの統合。
- 回収するレチクルの事前選択。 分類および検索可能なマテリアルリクエストキューに
「ペンディング」として登録された回収要求を可視化します。
- 一定間隔の自動検査およびクリーニング機能。
- レチクルの使用状況および検査の監視。
- ローカルおよびリモートのパーティクルビューアー（例えばマスクショップなど）
- バーコードスキャナおよび（ラベル）プリンタのサポート。
- レチクルの検索およびチェックリストに使用可能なハンドヘルドインターフェイス。
- ARHSのサポート。
- SEMI E-109に適合。
- キャリアおよびトランスポンダの管理
（Carrier Content Recognitionを含む）。
- マルチポッドトネリングの最適化。
ストッカーの機能
レチクルストッカーとの併用により、次の機能を利用できます：
- レチクルの自動収納および自動回収。
- ストッカーステータスの概要およびアラームログ。
レチクルストッカーおよび内蔵されている統合パーティクル検出システムとの併用により、次の機能を利用できます：
- ユーザー設定の規則に基づいてトリガーされ、ストッカーのアイドルタイムを利用して実行されるレチクルの自動検査。
- レチクルの汚染がしきい値（設定可能）を超えた場合の自動アラーム。
New RSM Version 3.3の機能紹介（2003年6月）
New RSM Version 3.5の機能紹介（2004年6月）
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