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製品紹介 » Reticle Inspection Manager (RIM)
各種検査ツールから集められたレチクル検査データの保存および可視化を行う レチクル点検管理(RIM: Reticle Inspection Management)システムです。
特徴
ユーザー設定の仕様に基づいて、RIMは各レチクルのクリーニングおよび検査のサイクルを管理します。
汚染されたレチクルを自動的にロックして、担当のオペレータ/技術者にリモート通知し、
検査済みのクリーンなレチクル以外が製造に用いられないようにし、歩留まりを改善します。
RIMはレチクルのライフサイクル全体を通じてレチクル検査データを管理・保存します。
この高度な（履歴）レポート機能は、Webインターフェイスを用いて工程上どこからでも利用できます。
高度な設定が可能なSmart Contamination Valueを用いることにより、レチクルの汚染を一目で発見できます。
既知の「DONT-CARE」（無視）障害をフィルタリングすることにより、対処が必要な新たな障害を一目で検出できます。
RIMは、自動検査機能および再適格化のトリガー機能を提供します。
パラメータファイルのアップロードおよびダウンロードを自動化することにより、人為的エラーを排除します。
各種機能
可視化機能：
メッシュ切りや、フェイス削減を含む2Dグレーマップ変換に基づいた2D/3D変換。
複数の検査結果の比較やリファレンスマップの相違点の抽出、出現したパーティクル/欠陥の発見などが一目瞭然に。
複数の検査結果（例: マスクセット全体に対する結果）を結合し、パーティクルや欠陥が露光に及ぼす影響を確認できます。
最も汚れが目立つレチクルを一目で識別できます。
統合機能：
- ご使用中のCIM（工場自動化）へのシームレスな統合。
- ほとんどのレチクル検査システムを統合可能（KLA、NIKON、Zarisなど) 。
追跡・保存機能：
- レチクルの検査サイクルの追跡。
- レチクルのライフサイクル全体を通じて、検査および修理の履歴を保存。
- ユーザーの注釈やコメントをすべての検査に添付可能。
- プリンタのサポートにより、利用可能なすべての情報をアナログアーカイブとして保存することが可能。
- パーティクルのグラフィックデータ（RFF、ESFなど）のエクスポート。
- 工場のイントラネットから検査データの全アーカイブへのRSM/WEB経由のリモートアクセス。
自動化機能：
- 手動および自動による検査キューの登録。キューの登録基準は、I/Oサイクル数、手動による移動、 ロットカウント、CIMステータスの変更、構成可能なスケジュールなどに基づいて設定できます。
- 汚染のしきい値を超えた場合に自動的にアラームを発生します （Mediation Deviceを用いれば、リモートアラームを使用できます）。
- Reticle Stockersにおける検査システムのサポート。ストッカーのアイドルタイム中に自動的に検査をトリガーします。
- パラメータファイルおよび結果のアップロードおよびダウンロード。
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